ロボット ATSシリーズ

半導体ウエハボックスの搬送および全工程物流に特化

ATSシリーズのロットボックストランスファーロボット（ATS20、ATS12-FFUおよびその他複数のモデルを含む）は、ユイボットがウェハ製造からパッケージング、テストに至るまでの半導体製造工程全体における材料輸送の自動化を目的として開発したものである。FOUPやFOSB、ロットボックスその他のキャリアの高スループットな循環を念頭に設計されており、クリーンルーム環境において効率的で正確かつ汚染のない搬送を実現する。OWシリーズのモバイルマニピュレーターと連携して動作することで、ATSロボットは完全自動化された半導体工場の基盤を形成し、多様なワークフローに対してシームレスなピックアップ、バッファリング、配布を提供する。

高精度、低振動、多段階安全保護

レーザーSLAM融合ナビゲーションを採用したATSシリーズは、ツールとストレージシステム間の安定した輸送を実現するため、±10 mmの定位精度を達成しています。半導体業界の基準に合わせて設計されており、平坦な地面での振動は≤0.3Gに抑えられており、取り扱い中のセンシティブな材料を保護します。2つのLiDAR、3Dカメラ、ピットセンサー、360°バンパー、非常停止装置を装備することで、ロボットは包括的な環境認識と安全保護を提供します。高度なRFIDベースのモニタリングにより、ロットボックスの状態をリアルタイムで追跡可能であり、セーフティライトカーテンと複数センサーによる冗長構造が、作業者と材料の両方を保護します。

艦隊全体の連携とスケーラブルな展開

ATSシリーズは、大規模なディスパッチング、マルチロボット協働、工場自動化ソフトウェアとの統合を実現するYOUIFLEET（ユイボットの知的フリート管理システム）と完全に互換性があります。長寿命バッテリーを搭載し、手動および自動充電をサポートすることで、大量生産向けファブでの中断のない運転を確実にします。拡張可能な構成とOWシリーズのマニピュレーターやプロセス装置とのシームレスな接続により、ATSシリーズは真のエンドツーエンド自動化を可能にし、物流効率を向上させ、完全自動化された半導体製造を実現します。