ロボット ATSシリーズ

半導体ウエハボックスの搬送および全工程物流に特化

ATSシリーズのロットボックストランスファーロボット（ATS20、ATS12-FFUおよびその他の複数モデルを含む）は、YOUIBOTが開発したもので、ウェハ製造からパッケージング、テストまで、半導体製造工程全体における材料輸送の自動化を実現します。FOUPやFOSB、ロットボックスなどのキャリアの高スループットな循環を目的として設計されており、クリーンルーム環境下での効率的で正確かつ汚染のない搬送を保証します。OWシリーズのモバイルマニピュレーターと連携して動作することで、ATSロボットは完全自動化された半導体工場の中核を担い、多様なワークフローに対してシームレスなピックアップ、バッファリング、配送を提供します。

高精度、低振動、多段階の安全保護

レーザーSLAM融合ナビゲーションにより、ATSシリーズはツールとストレージシステム間の安定した輸送を実現し、±10 mmの位置決め精度を達成しています。半導体業界の基準に合わせて設計されており、平坦な地面での振動は≤0.3Gに抑えられ、取り扱い中のセンシティブな材料を保護します。2つのLiDAR、3Dカメラ、穴検知センサー、360°バンパー、非常停止装置を装備することで、ロボットは環境の包括的な認識と安全保護を提供します。高度なRFIDベースのモニタリングにより、ロットボックスの状態をリアルタイムで追跡可能で、セーフティライトカーテンや複数のセンサーによる冗長構成が作業者と材料の両方を守ります。

艦隊全体の連携とスケーラブルな展開

ATSシリーズは、大規模なディスパッチング、マルチロボット連携、工場自動化ソフトウェアとの統合を実現するYOUIFLEET（YOUIBOTの知的フリート管理システム）と完全に互換性があります。長寿命バッテリーを搭載し、手動および自動充電の両方をサポートすることで、大量生産を行うファブでの中断のない運転を確実にします。拡張可能な構成とOWシリーズのマニピュレータやプロセス装置とのシームレスなインターフェースにより、ATSシリーズは真のエンドツーエンド自動化を可能にし、物流効率を向上させ、完全自動化された半導体製造を実現します。