半導体モバイルロボットは、滑らかで汚染耐性のある表面により、クラス100の高い清浄度を達成しています。これにより人の介入が最小限に抑えられ、汚染リスクが減少し、製品の歩留まりが向上します。

自律走行ロボットは一定時間の連続運転が可能で、自動で物料の搬送や積み下ろしを行い、複雑な環境を柔軟にナビゲートします。これにより、人の介入や固定レールの必要がなくなり、スムーズな生産プロセスが維持され、処理能力が向上します。

高度なビジョンセンサーと強力なエンドグリッパーを搭載した自律走行ロボットは、FOUP PODsを正確に把持し、ウェハーへの直接接触を最小限に抑え、原材料に対する振動の影響も軽減します。

自動搬送により一部の労働力が削減され、長期的な人件費を節約するとともに手作業のエラーを大幅に回避します。これによりコスト削減と効率向上が実現し、迅速な投資回収が可能となります。

自律走行ロボット制御システムは、ロボットの上位システムとさまざまなエンドセンサー制御システムを内部の運用システムに統合し、複数システム間の切り替えにかかるコストと時間を削減します。ワークフローとログ記録により、すべての操作を追跡可能にし、管理の手間を軽減します。

自律走行ロボットに組み込まれたSLAMアルゴリズムは、地図上で位置と方向を把握し、合理的な移動ルートを生成します。複雑な環境での障害物も安全に回避でき、スタッフや設備を安全に保護します。