8インチのFoup Podsの搭載と移行する為に、協働ロボットを搭載した複合ロボットOW 8が設計されました。基本的なROBOT（自律走行ロボット）安全仕組み以外、OW 8には安全とナビゲーション用のレーダー、垂直検出を実現する側面レーダーが装備されている。この先進的な技術は、半導体業界や製造業の自動化を推進し、より効率的なプロセスを実現することが支援している。OW 8を使用すると、生産向上とコスト削減のために、生産オペレーションを簡略化できます。
製品
OW 12は協働ロボットを搭載し、半導体チップの製造における12インチFOUP PODの取り扱えるように設計されます。
➢ 高性能モバイルロボットと協働ロボットを連携
➢ 水平および垂直の検出に使用されるレーダーは、安全性を強化する。
➢ 半導体業界の要求に応じて、Class 100の清浄度と0.5gの振動classを実現。
12'' Foup Pod
8 h
1085x775x1510mm
水平および垂直の検出
OWCは半導体ファブ向けに特注開発されたオープンカセット自動搬送ロボットです。CST搬送に最適化され、生産工程全体における効率的・正確かつ柔軟なソリューションを実現します。
➢ 全方向シャーシによる究極の柔軟性
➢ 安全性＆インテリジェントスケジューリング
➢ 高信頼性で24/7連続稼働に対応
➢ 高度なハンドリングと効率的なドッキング
オープンカセット
8H
1070*665*1100mm
水平＆垂直検知
Youibotが開発したOWシリーズのモバイルマニピュレータロボット（OW12、OW8、OWCおよびその他の複数モデル）は、半導体製造プロセス全体における多様な材料の完全自動化ハンドリングを目的として設計されています。対象材料には、12インチおよび8インチのFOUPポッド、SMIFポッド、オープンCST、マガジンなどが含まれます。柔軟なコボット、エンドグリッパーおよびビジョンセンサーを装備したこれらのロボットは、上部クランプ治具で材料を正確に把持し、ウエハーへの直接接触を最小限に抑え、搬送中の振動を低減します。本シリーズは平坦な地面において振動を0.5G以下に抑えることができ、業界の厳しい基準を満たしています。電子棚だけでなく、OWロボットはYouibotのATSシリーズ（ウエハートランスファーバス）およびプロセス装置ともシームレスに連携し、材料の完全自動ピックアップと安定した輸送を実現します。これにより、半導体材料のエンドツーエンドのフローに対する理想的な自動化ソリューションを提供し、運用の一貫性と効率を大幅に向上させます。
OWシリーズは、高性能な自律移動シャーシに複数のセンサーやHMIを統合しており、半導体環境において卓越した柔軟性と安全性を提供します。ナビゲーションや障害物回避のための360度水平LiDARに加え、一部のモデルには荷物の高さに合わせてスキャンする垂直LiDARを備えており、移動中に同じ高さにある障害物との衝突を防ぎます。この多層的なセンシングにより、運用中の人員の安全と物資の保護の両方が確保されます。
OWシリーズはユーイボットが開発した統合コボット制御システムMOSを装備しており、コボットの上部制御と複数のエンドエフェクターセンサーを単一の統合オペレーティングシステムにシームレスに統合します。これにより、マルチシステム環境における統合の複雑性が大幅に低減され、デプロイメント時間が短縮されます。合理化されたワークフローと包括的なログ記録により、OWロボットは運用の完全なトレーサビリティを確保し、多様な半導体アプリケーションに信頼性の高い効率的な自動化基盤を提供します。
L1000は潜入搬送型ロボットてあり、製造業界の運送効率を高める為に設計されています。
積荷負荷を1000kgまでに対応、大容量48 Ahバッテリが搭載されており、少なくとも8時間の持続運転を実現します。
SLAMナビゲーションだけで、L1000は±10mmの高精度を実現できます。SLAMとQRコードを組み合わせると、更に±5mmの高精度を実現できます。BMSバッテリ制御システムは、電気量をリアルタイムで監視し、必要の場合、自動的に充電することができます。信頼性の高いソリューションであります。
リフトプラットフォーム姿勢監視機能によって、狭い空間内で安定した旋回と正確な配置を実現、同時にシャーシが本来の姿勢を保持できます。積載物の安定性を確保するために、ピン構造とゴムパッドも採用されております。上部の振動を減らし、搬送中の損傷を最小限に抑えます。
OWシリーズはFOUP PODを安定して運送することができ、保管位置に正確に置くことができる。生産ミスをさらに低減するために、専用の電子棚を使用します。OWシリーズによって、効率高いの半導体製造プロセスを実現できます。
OW8
OT12
8インチのFoup Podsの搭載と移行する為に、協働ロボットを搭載した複合ロボットOW 8が設計されました。基本的なROBOT（自律走行ロボット）安全仕組み以外、OW 8には安全とナビゲーション用のレーダー、垂直検出を実現する側面レーダーが装備されている。この先進的な技術は、半導体業界や製造業の自動化を推進し、より効率的なプロセスを実現することが支援している。OW 8を使用すると、生産向上とコスト削減のために、生産オペレーションを簡略化できます。
IC PCB と DBC magazinesを処理する為に、協働ロボットを搭載した複合ロボットOT12が設計されました。協働ロボットと視覚認識センサーが統合されて、PCB magazines処理の信頼性と制御と追跡が向上させる。OT12の先進的な機能は効率的な運送と生産向上を実現します。
